发布日期：2026-09-04 17:56    点击次数：81

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　　记者丨彭新 裁剪丨朱益民 刘雪莹

　　近期，手脚半导体制造最中枢圭表的光刻机赛说念走热，国产产业链关系标的在二级市集热度空前，A股光刻机产业链标的波动，高度蛊卦着市集的眼神。

　　9月24日，21世纪经济报说念记者在上海国度会展中心举办的第二十五届中国国际工业展览会上看到，上海微电子（SMEE）展台上初次公开亮相极紫外（EUV）投影微场曝光安装，过火部分本领骨子的对外清楚。

　　行业脉动径直传导至二级市集，重叠近期半导体行业加价预期不断催化的影响，光刻机见解涨势如虹。

　　9月24日，光刻机见解龙头张江高科（600895.SH）涨停，股价再创历史新高；同时，江丰电子（300666.SZ）涨超17%，集合化学（301209.SZ）、前锋精科（688605.SH）、洪田股份（维权）（603800.SH）、富创精密（688409.SH）涨超5%。时候线拉长，罢休9月26日，Wind光刻机指数近一年涨幅近130%，其中9月24日创下阶段新高。

　　把柄张江高科此前互动易清楚音书，公司通过子公司上海张江浩成创业投资有限公司投资了上海微电子公司22345万元，持有上海微电子公司10.779%的股权。

　　江丰电子为光刻工艺的前说念工序（千里积）提供要道材料，并为后说念工序（刻蚀）等关系建筑提供精密零部件。

　　据其此去年报清楚，江丰电子研发的“半导体用多层薄壁钛合金扩散焊合神色”，用于制备28nm以下节点的光刻机中枢冷却部件，已投入量产阶段，有望切入光刻机建筑中枢部件边界。

　　关于光刻机市集，中航证券研报指出，中国大陆光刻机市集空间深广，但主要依赖荷兰、日本等地入口。

　　出口顾问暗影下，光刻机供给概略情味高潮，走向自主可控已无可侧目。

　　待校服的高地

　　光刻机决定了半导体加工的最细线宽，通过曝光和光刻胶使晶圆名义产生电路图形，是芯片制造中最复杂的建筑。建筑的中枢包括光源系统、照明系统/投影光学系统以及用于保持晶圆和掩膜通顺的双工件台，其中每个系统都由数万个以致十万多个零件组成。

　　现在市集上的光刻机主要分为g-line、i-line、KrF、ArF、EUV五代，销售结构以中低端的KrF、i-line为主，ArFi、ArF、EUV占比较小，EUV是各人光刻机的遑急发展场地之一。

　　从各人市集来看，阿斯麦（ASML）独占鳌头，成为独一的一线供应商，占据各人大约以上的市集；旗下家具隐蔽沿途级别光刻机，掌握最高端的EUV市集。ASML 2025年二季度财报涌现，其净销售额为77亿欧元，环比持平，同比增长23%；净利润为23亿欧元，环比下跌约2.8%，同比增长45%。该季度，ASML的光刻机系统销售收入为56亿欧元，其中EUV销售额为27亿欧元，非EUV销售额为29亿欧元；当季售出EUV 11台、DUV 64台。

　　ASML除外，日本光刻机双雄尼康、佳能的市集份额仅在个位数犹豫。尼康凭多年积存勉守二线，佳能位居第三；两者出货亦以纯属制程建筑为主。佳能主要鸠合在i-line边界，并在本领上押注纳米压印光刻；尼康除EUV外均有涉猎。

　　与国外龙头比拟，国产光刻机合座仍有昭着距离。

　　东兴证券研报指出，光刻机国产化率仅2.5%，上海微电子为国产光刻机皆备龙头。现在，上海微电子是中国第一家亦然独逐一家光刻机厂商，出货量占国内市集份额普及80%，家具主要触及ArF、KrF和i-line边界，已具备90nm及以下的芯片制造才调。

　　华金证券合计，在家具上，上海微电子对标佳能，皆用于纯属制程，浸没式家具暂未推出。现在，上海微电子已量产光刻机主要有SSX600、SSX500、SSB300、SSB200小Mask、SSB200大Mask等系列。其中，SSX600系列步进扫描投影光刻机遴选四倍松开倍率的投影物镜、工艺自合乎调焦调平本领，以及高速高精的自减振六目田度工件台/掩膜台本领。

　　“零到一”冲破预期升温

　　由于地缘政事成分，中国大陆的芯片产线无法买到ASML分娩的EUV，制程上一直过期于台积电，现在，市集对国产光刻机产业链已毕冲破的盼望在急剧升温。

　　东兴证券研报指出，现在，中国光刻机制造商在面临本领挑战和供应链问题时，产能和产量仍然受限。

　　近些年中国光刻机国产化程度加速，产业获取一定发展，但与国际最初水平比拟仍存在本领规矩，尤其是高端光刻机本收受制于国外供应商，需要险峻游齐心合力攻坚。

　　国内光刻机产业链主要包括上游建筑及配套材料、中游光刻机系统集成和分娩，以及卑劣光刻机期骗三大圭表。

　　华金证券研报涌现，光刻机产业链中“卡脖子”圭表，本领积存较深或已径直/迤逦投入ASML/上海微电子等供应链的厂商包括：芯碁微装（688630.SH，直写光刻）、富创精密（零部件）、炬光科技（688167.SH，光学器件）、赛微电子（300456.SZ，物镜）、波长光电（301421.SZ，光源）、奥普光电（002338.SZ，整机）、腾景科技（688195.SH，光学器件）、福晶科技（002222.SZ，光源）、茂莱光学（688502.SH，光源）、电科数字（600850.SH，计较/适度模块）、新莱应材（维权）（300260.SZ，零部件）、好意思埃科技（688376.SH）/蓝英装备（300293.SZ）（洁净建筑）、同飞股份（300990.SZ）/海立股份（600619.SH）（温控）、东方嘉盛（002889.SZ，工作）、上海微电子（整机，未上市）、华卓精科（工件台，未上市）。

　　21世纪经济报说念记者梳剃头现，现在，我国在光刻机各细分本领边界均有储备。

　　针瞄准分子激光光源，科益虹源主要研发248nm准分子激光器、干式193nm准分子激光器等；福晶科技研发KBBF晶体；中科院研发40瓦干式准分子激光光源。针对光学镜头，国望光学研发90nm节点ArF光刻机曝光光学系统、110nm节点KrF光刻机曝光光学系统；中科科仪研发直线式劳埃透镜镀膜安装、纳米聚焦镜镀膜安装等。

　　需要正式的是，“光刻机”在不同语境下可能指代用于芯片制造的高端光刻机，也可能是用于PCB（印刷电路板）等边界的直写光刻建筑（LDI）。

　　21世纪经济报说念记者正式到，近期A股多家上市公司在互动易或公告中清楚了自己在光刻机或半导体边界的关联布局。

　　4月14日，国林科技（300786.SZ）在互动平台示意，现在公司电子级超纯臭氧气体发生器和半导体级高浓度臭氧水系统建筑部分型号已获取小批量订单，占主买卖务收入比重较小。此前，公司称臭氧在电子工业边界可被平庸用于变成CVD和ALD薄膜、氧化物助长、光刻胶去除和多种清洁期骗。

　　9月18日，南京化纤（600889.SH）公告称，手脚南京工艺的独一推动，将通过休养后的贬责结构对南京工艺业务、钞票本质灵验管控。比年来南京工艺积极拓展高端市集，已在多个高端期骗边界获取冲破。在半导体边界，南京工艺现在已为光刻机、刻蚀机、封装建筑以及晶圆搬运等时局提供配套。

　　9月19日，波长光电（301421.SZ）在回应投资者发问中称，公司主营各类光学元件、组件及系统决议，为整机建筑、仪器厂家提供配套，部分家具可期骗于半导体建筑上，但公司暂不掌持末端的具体信息，且现在公司在半导体边界的营收边界较小。关于拓展关系行业的客户群体，基于隐私性原则，无法奉告具体信息。

　　9月25日，捷众科技（873690.BJ）清楚，公司客户浙江启尔机电专注于高端半导体装备超洁净流控系统过火要道零部件的研发、分娩和销售，为光刻机提供超洁净流体处理建筑。

　　需要明确的是，单点本领冲破和单个公司的研发仍难以让国产光刻机翻开时局。参看ASML发展历史，其与险峻游产业链龙头公司精良合营，产学研深远发展带动了本领篡改。

　　中航证券指出，光刻机手脚高壁垒、重老本、高风险的行业，其发展有赖“举国体制”之力，需要国度牵头、科研院所与要道公司参与，方可已毕供应链自主可控。而手脚国内光刻机发展风向标的上海微电子和几大院所的科技研发着力，尤其值得恒久眷注。

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